테스는 유기금속화학 기상증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.

회사측은 “MOCVD 장비에 적용되는 기술로 공정수행 시 챔버 내부의 오염을 최소화해 수율향상에 기여하고, 세정을 용이하게 할 수 있다”며 “MOCVD 제품 경쟁력을 강화할 것”이라고 밝혔다.


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