<생생코스닥>원익IPS, 웨이퍼 표면 잔류 전하 제거 방법 특허권 취득

원익IPS(030530)는 웨이퍼 표면의 잔류 전하 제거 방법에 관한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

회사 측은 “이번 특허는 플라즈마를 이용한 반도체 공정에서 별도의 공정을 추가함 없이 짧은 시간동안 웨이퍼 표면의 잔류전하를 제거하는 방법”이라고 설명했다.

원익IPS는 25일 14시 13분 현재 60원(-0.78%) 떨어진 7590원에 거래되고 있다.

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