“반도체 유해가스 잡는다”…中企 환경설비 실증 본격화

[헤럴드경제=구본혁 기자] 국내 중소·중견기업이 개발한 반도체 유해가스 저감설비의 성능을 실제 공정과 유사한 환경에서 검증할 수 있는 실증시설이 경기 평택에 문을 열었다. 그동안 자체 시험시설 부족으로 기술 검증과 사업화에 어려움을 겪었던 기업들의 반도체 공급망 진입에 도움이 될 전망이다.

한국생산기술연구원(생기원)은 2일 평택대학교에서 평택시, 평택산업진흥원과 함께 ‘반도체 환경설비 오픈랩’ 개소식을 개최했다고 밝혔다.

반도체 제조공정에서는 온실가스와 각종 유해가스가 발생한다. 이를 효과적으로 처리하기 위해서는 환경설비의 오염물질 저감 성능과 장시간 운전 안정성을 확보하는 것이 필수적이다.

하지만 관련 설비를 개발하는 중소·중견기업들은 실제 반도체 공정과 유사한 환경에서 기술을 시험할 시설이 부족해 성능 검증과 신뢰성 확보에 어려움을 겪어 왔다.

이에 생기원은 국내 최대 반도체 생산거점 중 하나인 평택에 기업 공동 활용 실증시설을 구축하기 위해 평택시, 평택산업진흥원, ISG와 협력체계를 마련했다.

이번에 문을 연 오픈랩은 실제 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현한 것이 특징이다. 기업들이 개발한 환경설비를 실제 공정과 유사한 조건에서 시험하고 오염물질 처리 효율과 운전 안정성을 객관적인 데이터로 확보할 수 있도록 지원한다.

특히 이산화질소(NO₂) 등 유해가스의 저감 효과를 실시간으로 측정할 수 있도록 습식 스크러버와 전기집진기, 배기가스 분석기 등을 구축했다.

습식 스크러버는 액체를 이용해 배기가스 속 오염물질을 제거하는 장치다. 전기집진기는 전기적 힘을 활용해 미세입자를 포집한다. 이들 장치를 통해 기업들은 개발한 설비의 처리 성능을 정밀하게 검증할 수 있다.

생기원은 실증을 마친 기술에 대해서는 반도체 수요기업과의 연결도 지원할 계획이다. 단순한 성능 시험을 넘어 기술 검증부터 사업화, 지역 반도체 공급망 진입까지 연계하는 실증 거점으로 육성한다는 구상이다.

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