SK하이닉스, AI기반 반도체 계측기술 성과 발표

SK하이닉스와 가우스랩스가 지난 25~29일 미국 캘리포니아주 새너제이에서 열린 국제학회 ‘SPIE AL 2024’에서 인공지능(AI) 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔다. SPIE AL은 국제광전자공학회(SPIE)가 주최하는 콘퍼런스로, 반도체 회로를 그리기 위한 노광기술 전반에 대한 논의가 이뤄진다.

가우스랩스는 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘Panoptes VM’의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 ‘통합 적응형 온라인 모델’을 소개했다. SK하이닉스는 2022년 12월부터 Panoptes VM을 도입해 현재까지 5000만장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 진행했다. 이를 시간으로 환산하면 초당 1개 이상의 웨이퍼를 가상 계측한 것으로, 이 소프트웨어의 성능에 힘입어 공정에서 생산된 제품들의 품질 변동폭을 약 29% 줄일 수 있었다.

가우스랩스는 학회 발표에서 ‘범용 노이즈 제거 기술’도 소개했다. 가우스랩스가 개발한 기술은 AI를 이용해 다양한 형태의 이미지에서 잡티를 한번에 제거해 준다. 김현일 기자