에스엔유프리시젼은 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템에 관한 특허권을 취득했다고 29일 공시했다.
회사측은 “OLED 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
에스엔유프리시젼은 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템에 관한 특허권을 취득했다고 29일 공시했다.
회사측은 “OLED 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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