＜생생코스닥＞테스, 기판처리장치 특허권 취득

테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 기판을 가열하는 히터블럭의 온도가 손실되는 것을 방지 할수 있고, 히터블럭의 유지보수를 용이하게 한다”고 설명했다.