원익IPS는 기판 이송장치 및 그 동작 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.
회사측은 “처리될 기판의 이송 시간을 단축시키고 정확한 위치에 놓기위한 장치 및 방법”이라고 설명했다.
jemmie@heraldcorp.com
원익IPS는 기판 이송장치 및 그 동작 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.
회사측은 “처리될 기판의 이송 시간을 단축시키고 정확한 위치에 놓기위한 장치 및 방법”이라고 설명했다.
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