위지트는 환형 배플 조립체에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.
회사측은 “에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 베플 제조방법에 관한 것”이라며 “해당 제품은 히터가 삽입되고, 알루미늄 고진공 Brazing 기술이 적용 되는 제품이므로 본 특허는 효과적인 히터 삽입에 관한 구조와 효과적인 알루미늄 고진공 Brazing이 이루어질 수 있는 형상에 관한사항”이라고 설명했다.
jemmie@heraldcorp.com
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