에스티아이(039440)는 플라즈마 식각장치에 관한 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.

회사측은 “이번 특허의 목적은 식각 효율을 증대시키고, 원치 않는 주변부 식각(lateral etch)을 방지하여 식각부가 최적의 경사(slope)조건을 유지할 수 있도록 하며, 식각 공정중에 발생하는 식각 부산물을 효과적으로 제거하여 식각 효율을 증대시키고 작동 불량을 사전에 방지하여 유지 및 보수 비용을 절감하고 교체시기를 연장할 수 있게 하는 것으로 LCD Wet 패널 식각 공정에 적용될 예정”이라고 설명했다.


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