테스는 가변형 샤워 헤드에 관한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다. 회사측은 “웨이퍼의 전면에서의 공정 균일도를 향상시킬 수 있고 공정가스의 확산을 촉진시키며 플렉서블 하판에 가해지는 하중을 줄일 수 있다”고 설명했다.


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