테스는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사측은 “디스플레이 장비에 적용되는 기술”이라며 “여러개의 기판을 동시에 이동시키면서 복수개의 가스공급부에 의해 가스를 공급함으로써 기판 처리량(throughput)을 향상시킬 수 있다”고 설명했다.


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