테스(095610)는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 서셉터의 승강 이동을 위한 승강 구조와 공정 가스의 배기를 위한 배기 구조가 통합돼 반응 챔버의 바닥면 중앙 영역에서 반응 가스의 배기가 가능하게 됨으로써 공정 균일도를 향상시킬 수 있다”고 설명했다.


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