원익IPS(030530)는 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 챔버 내부의 플라즈마 밀도를 향상시켜 증착 및 세정 효율 개선을 위한 반도체 제조 장치”라고 설명했다.
test10043@heraldcorp.com
원익IPS(030530)는 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 챔버 내부의 플라즈마 밀도를 향상시켜 증착 및 세정 효율 개선을 위한 반도체 제조 장치”라고 설명했다.
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