로체시스템즈는 박막형태의 웨이퍼를 휘엄짐이나 깨짐 없이 이송할 수 있는 엔드 이펙터에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “개발중인 반도체 후공정용 WAFER 가공장비에 적용되는 기술”이라고 설명했다.
jemmie@heraldcorp.com
로체시스템즈는 박막형태의 웨이퍼를 휘엄짐이나 깨짐 없이 이송할 수 있는 엔드 이펙터에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “개발중인 반도체 후공정용 WAFER 가공장비에 적용되는 기술”이라고 설명했다.
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