- 기초지원硏, 혼합기체 활용 고성능 질량분석 핵심기술 개발

- 높은 감도와 공간분해능으로 유기물, 생체구조 분석 가능

한국기초과학지원연구원 연구장비개발부 최명철(왼쪽 끝) 박사 연구팀.[KBSI 제공]
한국기초과학지원연구원 연구장비개발부 최명철(왼쪽 끝) 박사 연구팀.[KBSI 제공]

[헤럴드경제=구본혁 기자] 국내 연구진이 이차이온 질량분석기의 성능을 획기적으로 향상시킬 수 있는 신개념 클러스터 이온빔 생성기술을 개발했다.

한국기초과학지원연구원(KBSI)은 연구장비개발부 최명철 박사 연구팀이 혼합된 기체를 활용한 기체 클러스터 이온빔 장치를 개발, 이차이온 질량분석기에 결합해 성능을 개선하는데 성공했다고 10일 밝혔다.

클러스터 이온빔은 기존의 전통적인 이온빔을 사용했을 때 분석할 수 없었던 분자구조를 갖는 성분 구조 그대로 이온화하여 질량분석이 가능하다. 유기물을 사용하는 OLED 디스플레이나 생체조직 분석 등에 꼭 필요한 기술로, 최근 이온빔 기술의 성능향상 연구가 선진국을 중심으로 활발히 진행 중이지만, 아직 완성된 이온빔 기술은 전무한 실정이다.

이번에 개발한 혼합기체 클러스터 이온빔은 혼합기체를 섞는 비율에 따라 분석하고자 하는 시료의 특성에 맞게, 사용자가 원하는 분해능으로 최적화된 질량이미징 분석을 가능케 한다.

이번에 개발한 기술은 혼합기체를 사용해 이온빔을 생성하는 방식으로, 기존 아르곤 기체만 써왔던 순수기체 클러스터 방식과 차이가 있다. 혼합하는 기체의 종류와 섞는 비율에 따라 생성되는 이온빔의 출력, 크기가 달라지게 됨으로써, 이온빔 장치의 분석특성 및 성능에 직접적인 영향을 미친다는 사실을 알 수 있었다.

연구결과, 아르곤 대비 15%의 이산화탄소를 혼합했을 때 공간분해능, 감도, 표면가공정밀도 등 분석특성 전반에 걸쳐 이온빔의 성능이 획기적으로 향상되는 것으로 나타났다.

아르곤 대비 이산화탄소의 비율이 높을수록 이온빔의 공간분해능이 기존 단일기체를 사용한 이온빔 보다 30% 이상 개선되었으며, 표면가공정밀도는 5배 이상 향상된 성능을 확보할 수 있었다. 특히 질량분석장비의 가장 중요한 성능지표인 질량분석 감도는 아르곤 대비 15%의 이산화탄소 혼합비율에서 250% 이상 증가하는 것으로 나타났다.

아르곤과 이산화탄소 기체의 다양한 혼합비율에 따라 이차이온 수율의 변화가 있음을 입증. (왼쪽) 아르곤 대비 이산화탄소 최적 비율은 이산화탄소 15%로, 순수 아르곤 대비 250% 이상의 이차이온 수율을 향상시킬 수 있음. (오른쪽) 혼합기체 비율에 따른 실리콘 웨이퍼의 표면가공정밀도는 아르곤 클러스터 대비 5배 이상 증가함. [KBSI 제공]
아르곤과 이산화탄소 기체의 다양한 혼합비율에 따라 이차이온 수율의 변화가 있음을 입증. (왼쪽) 아르곤 대비 이산화탄소 최적 비율은 이산화탄소 15%로, 순수 아르곤 대비 250% 이상의 이차이온 수율을 향상시킬 수 있음. (오른쪽) 혼합기체 비율에 따른 실리콘 웨이퍼의 표면가공정밀도는 아르곤 클러스터 대비 5배 이상 증가함. [KBSI 제공]

고성능의 이차이온 질량분석기에 혼합기체 클러스터 이온빔 기술을 적용하면, 그동안 기술적 한계로 분석할 수 없었던 유기재료, OLED 디스플레이, 생체조직 시료를 고분해능으로 질량분석이 가능하게 된다. 현재 OLED 분야의 당면과제인 내구성 개선 및 동작에 의한 부분적 화학변성 확인은 물론, 암을 비롯한 생체조직 구조분석 및 진단, 신약개발 등 다양한 연구·산업분야에 활용될 수 있다.

이번 연구결과는 표면분석분야 국제학술지 ‘Appl. Sur. Sci’ 최신호 온라인판에 게재됐다.

최명철 박사는 “이번에 개발한 혼합기체 클러스터 이온빔 장치는 기존의 전통적인 방식을 한 단계 끌어올린 신기술로, 유기물 및 생체 등 초정밀 시료의 질량이미징 분석을 가능하게 한 점에서 의미가 크다”며 “현재 전문기업에 기술이전 추진 등 앞으로 사업화 성과가 기대된다”고 말했다.


nbgkoo@heraldcorp.com