테스(095610)는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.

회사측은 “이번 특허에 의하면 공정부산물의 축적을 크게 감소시킬 수 있어 공정 균일도를 개선할수 있고 하부패널의 세정 효율도 개선될 수 있으며 또한 이번 특허는 태양전지 제조장치와 관련된 것으로 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.


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