[헤럴드경제=신수정 기자] LCD 공정 드라이에치(Dry Etch) 및 CVD(Chemical Vapor Deposition)의 핵심부품 제조업체인 위지트(036090, 대표이사 김현철)는 효과적인 히터 삽입 및 알루미늄 고진공 브레이징이 이루어질 수 있는 형상 기술에 관한 특허를 취득했다고 30일 밝혔다.

해당 특허는 에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 배플(baffle) 제조방법에 관한 것으로, 전량 수입에 의존하던 제품을 국산화하는데 성공했다.

반도체 및 LCD 장비 부품은 온도를 균일하게 유지시키기 위해 히터가 삽입되는 제품이 다수 있으며, 해당 특허 기술을 이용하면 균일한 온도 제어가 가능해 우수한 열 전달 및 열 손실 최소화를 꾀할 수 있다고 회사측은 설명했다.

또 해당 특허를 이용한 알루미늄 고진공 브레이징(brazing) 기술은 널리 상용화되지 않은 진보된 집합 방법 기술로, 기존 제품 대비 우수한 품질의 제품을 개발할 수 있게 됐다고 회사측은 강조했다.

위지트는 이 특허 기술을 통해 해당 제품만이 아닌 유사 제품 혹은 타 제품에 적용해 나간다는 계획이다.

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