LIG에이디피는 기판처리장치 및 이를 이용한 공정챔버의 유지방법(건식식각 장비)에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 디스플레이 패널 제조용 건식식각장비(Dry Etcher)의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다. 또 LIG에이디피는 터치패널과 디스플레이패널을 합착하는 패널 합착장치에 관한 특허권을 취득했다.

회사측은 “이번 특허는 터치스크린 패널 제조장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.


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