테크로스 워터앤에너지, 반도체 공정 핵심 ‘초순수 국산화’ 사업 확대

부방그룹의 환경∙에너지 전문 EPC 기업 테크로스 워터앤에너지(대표이사 윤혁노)가 반도체 등 첨단산업의 필수 인프라인 ‘초순수(Ultra Pure Water)’ 생산 기술의 국산화에 속도를 내고 있다.

테크로스 워터앤에너지는 최근 삼양사, 시노펙스, 에코셋, 세프라텍 등 국내 주요 소재∙부품∙장비(소부장) 기업들과 ‘초순수 국산화를 위한 기술 협업 및 사업화 공동 추진’ 업무협약(MOU)을 각각 체결했다고 밝혔다.

초순수는 반도체, 디스플레이, 이차전지 등 첨단 제조 공정에서 웨이퍼와 생산 설비를 세정하는 데 쓰이는 고순도 공업용수다. 반도체 생산 수율에 직결되는 핵심 인프라임에도 그간 해외 기술 의존도가 높아 독자적인 기술 확보와 안정적인 공급망 구축이 시급한 과제로 꼽혀왔다.

앞서 테크로스 워터앤에너지는 지난 4월 정부가 주관하는 ‘초순수 생산공정 전 과정 국산화 기술개발’ 국책과제의 총괄주관기관으로 선정된 바 있다. 해당 과제는 과거 일부 공정에 한정됐던 국산화 범위를 전처리, 순수 처리, 초순수 처리 등 생산 전공정으로 확대해 최종 국산화율을 90% 이상으로 높이는 것이 목표다.

이번 협약은 국책과제 주관기관인 테크로스 워터앤에너지를 중심으로 초순수 생산에 필요한 핵심 소부장 기술을 내재화하기 위해 마련됐다. 이에 따라 물속 이온을 제거하는 핵심 소재인 이온교환수지(삼양사)를 비롯해 탈기막(세프라텍), 초미세여과(시노펙스), 자외선(UV) 산화 장치(에코셋) 등 각 기업이 보유한 특화 기술력을 바탕으로 분야별 협업이 추진된다. 테크로스 워터앤에너지는 설계∙시공∙운영(O&M) 및 최종 사업화 전반을 총괄하며 국산화 기술 개발을 이끌 계획이다.

테크로스 워터앤에너지 관계자는 “이번 협력은 대외 의존도가 높은 초순수 생산 공정의 기술 자립을 위해 국내 소부장 기업들과 전략적 기반을 마련했다는 데 의미가 있다”라며 “수처리 분야의 풍부한 설계·시공 경험을 바탕으로 2030년까지 초순수 전공정 국산화율 90%를 달성하고, 첨단산업의 안정적인 인프라 구축에 기여하겠다”고 말했다.

한편, 테크로스 워터앤에너지는 최근 SK하이닉스가 발주한 용인 반도체 클러스터 내 폐수처리 공사를 수주하는 등 첨단산업 수처리 전 과정(초순수 공급∙폐수처리∙재이용)에서 시공 실적을 쌓아가고 있다. 현재 누적 생산량 기준 일 33만 ㎥ 이상의 초순수 시설 시공 실적을 보유하고 있다.