DUV 뚫은 중국, EUV도?…“15년 걸려” ASML 핵심 파트너의 ‘팩폭’

[헤럴드경제=도현정 기자] 중국이 미국의 견제를 받는 최첨단 반도체 장비 분야인 극자외선(EUV) 노광장비를 개발하려면 15년 정도는 있어야 한다는 평가가 나왔다.

반도체 장비의 핵심 공급업체인 독일 자이스그룹의 반도체 부문 총괄 임원인 프랑크 로문트는 3일 블룸버그TV와의 인터뷰에서 “중국은 극자외선(EUV) 노광장비를 개발하는데 15년이 필요하다”면서 “다만 중국의 발전 정도를 수치화하기는 어렵다”고 말했다.

이 같은 전망은 로문트뿐 아니라 투자은행 등에서도 비슷하게 내놓은 것이다. 앞서 투자은행 UBS에서도 “중국이 자체 EUV 기술을 개발하는 데 최소한 10년 뒤져있다”는 보고서를 발표한 바 있다.

EUV 노광장비는 첨단 반도체 생산에 필수적인 것으로, 전 세계에서 네덜란드 기업 ASML이 유일하게 생산하고 있다. ASML은 2017년 자이스 반도체 부문의 지분을 10억유로(약 1조5700억원)에 인수하면서 이 같은 독점적 지위를 강화했다. 자이스는 EUV 노광장비에 들어가는 광학부품을 독점 공급한다.

반도체 굴기에 총력을 기울이는 중국은 자생력을 갖추기 위해 반도체 장비 개발에도 공을 들이고 있다. 중국은 EUV 이전 세대 장비인 삼자외선(DUV) 노광장비도 ASML로부터 공급받았다.

중국의 반도체 자립을 견제하려는 미국은 첨단 반도체 생산에 필수인 ASML의 EUV 노광장비를 중국에 수출하지 못하도록 통제하고 있다. 미국은 DUV 노광장비 중에서도 최신 모델은 수출 허가를 받아야 한다고 주장하고 있다.

그러나 로문트는 이 같은 수출 규제가 자사의 사업에 나쁜 영향을 미칠 뿐만 아니라 “오히려 중국 내 기술 혁신을 빠르게 할 것”이라 우려했다. 실제로 미국이 DUV 노광장비의 중국 수출마저 규제하려 하자, 상하이에 있는 한 중국 기업이 지난 7월 DUV 노광장비 제조에 성공했다는 보도가 나오기도 했다.

로문트는 중국의 DUV 노광장비 자립 소식에 대해 “이는 놀라운 일이 아니며 중국 장비가 실제 어느 정도 성능을 가졌는지 지켜봐야 한다”면서 “여전히 우리가 앞서 있다”고 덧붙였다.

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