테스는 비정질 탄소막의 에어갭 형성방법에 관한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.

회사측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.


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