[헤럴드경제=남민 기자] 엘오티베큠(대표 오흥식)이 반도체 공정에 이용할 수 있는 새로운 개념의 플라즈마 전처리 시스템 장비를 약 28억8000만원을 삼성전자로부터 수주받았다.

이는 엘오티베큠이 보유한 진공기술에 기반한 플라즈마를 이용하는 새로운 기술로 기존의 공정에서 배출되는 공정부산물 처리 효율을 획기적으로 개선해 진공펌프의 수명 향상을 꾀하는 효과가 있다고 밝혔다.

동 제품은 한국기계연구원의 원천기술을 활용하여 개발한 제품으로 지난해부터 수주를 받기 시작하여 금년부터 본격적인 매출로 이어질 것으로 예상된다고 밝혔다.


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