다우코닝, 150-㎜ SiC 웨이퍼에도 프라임 등급체계 적용

［헤럴드경제=신상윤 기자］반도체 부품인 실리콘 제조 업체 다우코닝(미국)은 획기적인 프라임 등급을 150-㎜ SiC 웨이퍼에도 적용한다고 21일 밝혔다.

최근 100-㎜ SiC 웨이퍼 에 대한 새로운 품질 기준인 프라임 등급을 마련한 다우코닝이 제조용 150-㎜ SiC 기판에 대해서도 마찬가지로 프라임 스탠다드, 프라임 셀렉트, 프라임 울트라 등급을 마련한 것이다.

이에 따라 각 등급에 따라 장비 성능에 악영향을 미치는 MPD(micropipe density), TSD(threading screw dislocations), BPD(basal plane dislocations) 같은 경함에 대한 허용 오차 범위가 더욱 엄격해지게 됐다.

다우코닝 관계자는 “100-㎜ㆍ150-㎜ SiC 웨이퍼 등급인 프라임스탠다드(Prime Standard), 프라임 셀렉트(Prime Select), 프라임 울트라(Prime Ultra)는 전 세계적으로 개발과 샘플링에 사용될 수 있다”고 말했다.

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