테스는 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 박막증착용 반응챔버에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
회사측은 “원자층증착(ALD)시 공정의 수율 및 단차피복율(step coverage)을 개선하는 우수한 효과를 나타내며 기판상 박막 막질의 저하를 회피하거나 최소화할 수 있다”면서 “신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
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