인텍플렉스는 반도체 패키지 검사 시스템에 관한 대만 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

회사측은 “이번 발명은 단일 검사 시스템을 1회전 하는 동안 반도체 패키지의 서로 다른 영역에 대한 검사가 각각 이뤄지도록 함으로써 장비 활용 능력을 높이고 검사 수율을 증가시킬 수 있는 반도체 패키지 검사 시스템에 관한 것”이라고 밝혔다.

인터플렉스는 또 클리닝 수단이 일체로 구비된 반도체 소자의 검사장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 검사방법에 관한 대만 특허를 취득했다고 이날 공시했다.

회사측은 “이번 발명은 에어 클리너와 같은 클리닝 수단을 일체로 구비해 반도체 소자의 외관에 부착된 미세 먼지나 이물질을 제거, 미세 먼지나 이물질과 같은 오염 물질에 의해 불량으로 판정되는 반도체 소자를 감소시킴으로써 수율을 향상시킬 수 있는 클리닝 수단이 일체로 구비된 반도체 소자의 검사 장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 검사 방법에 관한 것”이라고 밝혔다.

회사측은 “외관검사장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 설명했다.


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