- 액체 불화수소, 일본산 대체 개발에 성공한 협력사 통해 일부 공정에 투입

[헤럴드경제=이태형 기자]일본 정부가 최근 SK하이닉스가 수입 신청을 낸 불화수소 수출을 허가한 것으로 확인됐다.

SK하이닉스 관계자는 2일 “지난달 말 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다”며 “아직 한국에 들어오진 않은 상태”라고 밝혔다.

기체 불화수소는 앞서 지난 8월 말 처음 수출 허가가 난 바 있으며 당시 수입 기업은 삼성전자로 알려졌다.

일본이 7월초 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 3개월 만에 두 차례 수출허가가 난 셈이다.

또 SK하이닉스는 아직 한건도 국내에 들어오지 못한 액체 불화수소(불산액)은 “지난 1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중”이라고 밝혔다.

지난달 초 LG디스플레이, 삼성전자 등이 일본 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체한 데 이어 또 다른 국산화 행보다.

산업통상자원부는 전날 반도체용 불산액이 신청 후 90일이 다 되도록 단 한 건의 허가도 발급되지 않고 있는 상황이라고 전한 바 있다.