참엔지니어링은 플라즈마 에칭 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 “이번 특허를 활용하여 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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참엔지니어링은 플라즈마 에칭 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 “이번 특허를 활용하여 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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