블루테크 코리아(대표 이재남) 는 Passive 방식의 웨이퍼 이송용 End Effector에 웨이퍼의 비정상적인 위치 및 슬라이딩을 감지하는 기능을 개발해 특허 출원 및 등록했다고 밝혔다.

반도체 제조에는 많은 자동화 로봇이 사용되는데, 반도체 공정이 미세화되면서 청정도가 중요한 이슈로 부각되고 있다. 이에 사용되는 End Effector의 종류는 Vaccum 그립 type, active 그립 type, Passive 방식의 3종류가 있는데, 이송 속도 면에서는 Vaccum Grip Type이, 청정도에 있어서는 Passive 방식이 우수한 이점을 갖는다.

반도체 디자인 룰이 낮았던 과거에는 속도 면에서 이점을 갖는 Vacuum Grip type이 보편적으로 사용되었으나, 현재의 50nm 이하의 하이 테크공정으로 발전하면서, Wafer이송 시의 청정도가 크게 대두되어 passive 방식으로 확대되고 있는 추세다.

Passive방식의 End Effector는 웨이퍼를 단단하게 흡착하지 않기 때문에 빠른 속도의 웨이퍼를 이송할 수 없다. 빠르게 이송할 경우 슬라이딩이 일어나 웨이퍼를 파손시킬 수 있기 때문이다. 아울러, Pad의 상태에 따라서도 웨이퍼의 슬라이딩 및 잘못된 위치의 변경이 발생되는 요인이 된다.

개발 담당자는 “블루테크 코리아는 이를 진단해 웨이퍼의 슬라이딩 및 잘못된 포지션을 감지해 웨이퍼 파손 등의 사고를 예방할 수 있는 기술을 개발했다.”며, “슬라이딩 등의 웨이퍼 파손 사고를 방지하고 또한 Pad의 교체 주기를 판단할 수 있는 장점을 갖는다”고 말했다.


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