테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 배플(baffle)의 설치높이, 경사방향 및 경사진 정도를 매우 용이하게 조절할 수 있어 기판의 규격이나 챔버의 압력 등 박막 증착 환경이 변화하는 경우라도 배플의 상태를 자유롭게 변경하여 기판에 박막이 균일하게 증착될 수 있는 최적의 가스흐름을 도출할 수 있다는 장점이 있어 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.

테스는 11일 14시 9분 현재 200원(-0.87%) 떨어진 2만2700원에 거래되고 있다.


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