［헤럴드경제=신상윤 기자］국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)는 공동 프로젝트로 SEMI EDA(Equipment Data Acquisition) 표준 4개의 한글본을 발간했다고 12일 밝혔다.

이는 지난해부터 시작한 ‘글로벌 협력형 450㎜ 공정장비 개발ㆍ표준화 연구사업’의 일환으로 진행된 국제표준 한글화 사업으로, 지난해 SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계의 활용도가 높은 9개 표준 한글화 작업에 이은 두번째 프로젝트이다.

SEMI EDA는 2005년 처음 만들어진 SEMI 소프트웨어 표준으로, 현재까지 수 차례 개정를 거쳐 발전돼 왔다.

이는 1982년 반도체 장비를 제어할 목적으로 개발된 반도체 전용 데이터 송수신 프로토콜인 SECS/GEM (SEMI Equipment Communication Standards/ Generic Equipment Message) 통신 표준과는 달리, 반도체 장비 데이터를 모니터링하는 것이 주 목적이며, SECS/GEM보다 데이터 수집량이 많고, 속도가 빠른 것이 특징이다.

그런데 최근 반도체 공정이 점차 미세화되고 웨이퍼 대구경화가 진행되면서 공정의 안정화를 위해 엔지니어들은 기존 반도체 설비에서 수집된 데이터보다 더 많은 양의 데이터와 더 빠른 수집 주기를 필요로 하게 됐다.

이러한 변화로 인해 기존에 사용하는 SECS/GEM통신을 이용한 데이터 수집만으로는 한계가 있다는 의견이 점차 많아지고, 이에 대한 해결방안으로 EDA에 대한 관심이 높아지고 있다. 이미 해외 파운드리ㆍ여러 반도체 IC 메이커에서는 EDA를 적용하고 있다. 국내에서는 아직 EDA 활용이 활발하진 않지만, 많은 장비회사들이 EDA 적용을 준비 중이다.

SEMI의 김형수 한국 정보제어 표준 기술위원장은 “EDA가 현재 SECS/GEM만큼 보편적이진 않지만, 반도체 산업에서 대용량 데이터 활용에 대한 니즈가 커지면서 EDA에 대한 잠재력도 대두되고 있다”고 말했다.

이번에 출간된 EDA 한글본의 가장 큰 예상효과는 새로운 개념의 표준인 EDA를 국내 도입하는 과정에서 국내 엔지니어들이 좀 더 쉽고 편리하게 접할 수 있는 기회를 제공한다는 것이다.

이와 더불어 한국 SEMI 에서는 관련 분야의 인적 인프라 구축 지원을 위해 한글본을 활용한 EDA 교육 프로그램 기획도 고려 중이다.

또 한글본 사용을 통해 영문을 그대로 사용했을 때 발생할 수 있는 오적용 사례를 예방하고, 빠른 이해를 도와 업무 생산성과 편의성이 크게 향상될 것으로 기대하고 있다. 이러한 긍정적인 효과 덕에 향후에도 SEMI와 KSIA는 기타 국제표준의 한글본 프로젝트를 꾸준히 진행할 예정이다.

이번에 한글본으로 발간된 EDA 표준 목록은 ▷E120-0414 CEM(Comment Equipment Model) 사양 ▷E125-0414 EqSD(Equipment Self-Description) 사양 ▷E132-0414 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 ▷E134-0414 데이터 수집 관리 사양이다.


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