[평택사업장 가보니]일정한 웨이퍼 온도 유지가 관건 10년 숙련공 정밀도, 품질로 직결

지난 2000년 설립된 메카로는 반도체 생산 공정의 핵심 부품인 히터블록과 전구체를 직접 개발ㆍ생산하면서 시장을 주도하고 있는 미래성장기업이다. 이 회사의 핵심 경쟁력은 다양한 제품을 생산하는 과정에서 터득한 노하우에 있다.

최근 탐방차 찾았던 이 회사 평택사업장의 직원들은 용접봉을 들고, 히트블록의 최종 조립 과정에 매달리고 있었다. 반도체 수요의 폭증에 따라 반도체 생산업체들이 생산 공정 미세화와 라인증설에 박차를 가하면서 히터블록과 전구체를 생산하는 메카로의 생산 라인도 분주하게 돌아가고 있었던 것.

히터블록은 반도체 생산 공정 중 웨이퍼를 흡착해 일정한 온도로 가열ㆍ유지하게 하는 핵심 부품이다. 메카로는 2000년, 이를 국내 최초로 국산화했다.

하문무 메카로 이사는 “현재 반도체 생산업체들이 경쟁적으로 생산 라인을 증설하고 있다보니 반도체 생산 장비 수요가 많아지고, 이로 인해 히터블록 수요도 폭발적으로 증가하고 있다“고 말했다. 하 이사는 이어 “지난 18년 간 6~12인치 크기의 다양한 반도체와 디스플레이 라인업에 대응했던 경험에 주목해, 반도체 생산업체들이 우리회사에 발주를 늘리고 있다”고 덧붙였다. 메카로는 다른 업체와 달리 발주처의 요청에 따라 산화피막을 입힌 코팅 히터블록도 생산한다. 코팅은 히터블록의 내구성을 늘리기 위한 방법인데, 정확한 온도 유지를 위해서는 피막의 균일도가 높아야 한다. 그만큼 메카로의 기술력이 높다는 방증이다. 하 이사는 “주로 알루미늄 강괴를 3차원 측정해 원하는 모양과 수치로 깎아내는 작업은 주로 기계가 하지만 온도를 조절하는 히터와 TC 등과 연결하는 작업은 구조 상 사람이 직접 할 수 밖에 없다”며 “정밀함을 요구하는 반도체 공정에 쓰이는 부품인 만큼 경력 10년 이상의 직원들이 맡아 작업을 하고 있다”고 설명했다.

직원들의 생산 경쟁력 유지를 위해 메카로는 ‘정년이 없는 행복한 기업’을 핵심 비전으로 삼고 있다. 용접 분야 직원들의 평균 근속 년수는 7~15년에 달한다. 메카로가 국내 최초로 개발한 지르코늄 계열 전구체인 ZM40 역시 히터블록 사업에서 쌓아올린 공정 설계 능력이 집약된 결과물이다. 2011년 ZM40을 독자 개발한 이후 국내 H사의 21nｍ 공정용 High-K 전구체로 전량 사용되고 있다. 이후 전구체 사업이 매출의 70%에 달할 정도로 효자 상품이다. 전구체를 포함한 화학사업 본부는 충북 음성 사업장에 집중돼 있다. 전구체의 품질을 유지하고 수율을 유지하기 위해 크린룸에서 생산되고 있다.

하 이사는 ”웨이퍼 위에 증착되는 전구체는 어떤 성분을 어떤 조합으로 배합하느냐에 따라 전도체나 절연체 등 다양한 역할을 한다“며 “히터블록 사업 과정에서 쌓아올린 노하우가 있었던 만큼 성분 조합과 온도와 압력 등 공정 설계를 회사가 직접 했고, 이를 특허화해 대기업 계열사의 추격을 뿌리칠 수 있었다”고 강조했다.

원호연 기자/why37@